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晶圓表面張力接觸角表面能分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)

更新時(shí)間:2020-12-28點(diǎn)擊次數(shù):1416

晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)
晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)詳情:
 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體晶圓(Wafer)工藝的質(zhì)量控制。該視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)提供晶圓(Wafers)表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析,從而評(píng)估粘性,潔凈度及鍍膜。

晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)采用輕量化的設(shè)計(jì)、組裝方便的基于Windows™標(biāo)準(zhǔn)的用戶友好型軟件,以創(chuàng)建一個(gè)即容又容易使用的接觸角測(cè)量?jī)x系統(tǒng)。

視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)的注射滴液機(jī)制可以抬起便于裝載,消除了對(duì)晶圓(Wafers)可能產(chǎn)生的損壞。視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)用于晶圓表面分析,同時(shí)也可用于其它需要測(cè)量較大體積樣件的分析應(yīng)用。樣件大可允許 300 X 300 X 19mm。
晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)應(yīng)用 (包括但不限于):  

• HMDS工藝的表面涂覆評(píng)估;
•  表面污染物檢測(cè);
•  膠液&底漆制備;
•  涂覆均勻性檢測(cè);
•  涂覆質(zhì)量評(píng)估;
•  表面清潔度檢測(cè);
• 研究粘附性、潤(rùn)濕特性、粘接質(zhì)量、表面處理和纖維、織物、聚合物、半導(dǎo)體晶片、硬盤(pán)、 平板顯示器和生物材料等表面涂層。
 •  吸收研究。
 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)采用了高精度攝像鏡頭和先進(jìn)的PC技術(shù)捕捉滴液的靜態(tài)或動(dòng)態(tài)圖像,并確定用于觸角測(cè)量的基礎(chǔ)切線。手動(dòng)或自動(dòng)注射器提供測(cè)試液體的簡(jiǎn)易滴膠方式。 電腦化操作消除了人為錯(cuò)誤的畫(huà)線并能捕捉動(dòng)態(tài)圖像對(duì)時(shí)間敏感的分析。存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)中的數(shù)據(jù)和圖像用于后面的分析,并且容易轉(zhuǎn)移到其他應(yīng)用軟件上。
視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)主要技術(shù)規(guī)格: 
●  基本系統(tǒng):視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)是一款手動(dòng)操作的接觸角測(cè)量?jī)x系統(tǒng),可測(cè)量晶圓片(Wafers)大尺寸為300mm。動(dòng)態(tài)圖像捕捉速率為60幀/秒,視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)除了具備表面能分析功能以外,該系統(tǒng)還能實(shí)現(xiàn)滴液表面張力的分析。該接觸角測(cè)量?jī)x系統(tǒng)配備電動(dòng)、可編程注射滴膠系統(tǒng)。視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)也可在超凈間操作使用。
• 高分辨率攝像系統(tǒng),放大透鏡,高密度LED光源用于精密圖像捕捉
• 300mm可旋轉(zhuǎn)工作平臺(tái),允許檢測(cè)晶圓各個(gè)方位
• 高配PC控制系統(tǒng),配備高性能顯卡,用于圖像分析及視頻捕捉
• 高清平板顯示器,用于圖像輸出顯示

●  視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)軟件基本功能特性:
• 接觸角成像及計(jì)算的自動(dòng)化
• 動(dòng)態(tài)滴液捕捉(以錄像方式觀看滴液)
• 表面能(達(dá)因/厘米)分析功能
• 統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制
• 懸滴法表面分析功能

●表面能(達(dá)因/厘米)軟件包:基于同樣基片上不同液體的接觸角,計(jì)算基片的表面能(達(dá)因/厘米),        列表出同一基片上不同液體的接觸角。并且用四中用戶可選的方法之一來(lái)自動(dòng)計(jì)算表面能,即齊斯曼法(Zisman)、幾何平均數(shù)法(Geometric Mean,), 調(diào)和平均數(shù)法(Harmonic Mean,),酸堿法(Acid-Base)。
● 圖像分析工作站(IAW):專(zhuān)門(mén)配備PC格式化用于圖像分析。

● 軟件:
-> 基于Windows操作系統(tǒng)方便使用,增強(qiáng)的多功能性和易與其他程序接口;
-> 時(shí)間間隔的圖像捕捉能力提供圖像捕捉及分析,基于用戶定義的時(shí)間事件分析間隔;
-> 多個(gè)圖像同時(shí)瀏覽功能;
-> 圖像滾動(dòng)&堆碼能力;
-> 高速圖像捕捉可達(dá)60個(gè)圖像/秒。
● 成像軟件:自動(dòng)灰度分析成像系統(tǒng)捕捉實(shí)際液滴圖像和自動(dòng)計(jì)算接觸角,而無(wú)需人工干預(yù)。 接觸角切線和電腦生成的水滴形曲線 擬合同時(shí)顯示在視頻圖像上,便于用戶查看及分析。
● 滴液表面張力分析)軟件:采取垂滴圖像分析方法,通過(guò)視頻影像數(shù)字化和數(shù)字  曲線擬合,采用毛細(xì)拉普拉斯方程確定表面張力(或界面張力)。

● 微量注射器-三套
● 微量注射器針頭-五套
● SPC(統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制)軟件:在一個(gè)易于使用的圖表中自動(dòng)記錄接觸角、液滴的高度,寬度,體積和面積。 即時(shí)顯示統(tǒng)計(jì)值平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差,作為數(shù)據(jù)輸入。所有的數(shù)據(jù)都可被打印, 保存和/或轉(zhuǎn)出進(jìn)一步分析或成像在其他 軟件程序之中。
● 軟件:瀏覽接觸角度、寬度和高度,潤(rùn)濕面積和體積的彩色圖表。數(shù)據(jù)和圖表可以存儲(chǔ)、打印和編輯。

● 電動(dòng)注射器組件:電腦控制自動(dòng)滴液分配系統(tǒng),用于標(biāo)準(zhǔn)注射器。提供可重復(fù)用戶定義液體體積分配。
●視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)晶圓(Wafer)樣件工作平臺(tái):
->  圓形樣件平臺(tái)尺寸:直徑12英寸(304.80毫米);
->  可接納檢測(cè)晶圓片尺寸:4英寸、6英寸、8英寸及12英寸;
->  光軸移動(dòng):6英寸手動(dòng)滑動(dòng)卡鎖;
->  垂直于光軸運(yùn)動(dòng):6英寸撥動(dòng);
->  垂直移動(dòng)距離:2英寸波動(dòng);
->  工作平臺(tái)旋轉(zhuǎn)角度:360度旋轉(zhuǎn),行星軸承支持手動(dòng)旋轉(zhuǎn);
● 校準(zhǔn)網(wǎng)格
● 顯示器
● 電源220VAC

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