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半導(dǎo)體/FPD/工業(yè)檢測顯微鏡MX63/MX63L

更新時(shí)間:2020-12-29點(diǎn)擊次數(shù):1172

現(xiàn)今智能手機(jī)產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展帶動(dòng)了包括半導(dǎo)體、平板顯示(FPD)、印制電路板(PCB)等整個(gè)電子制造業(yè)的飛速進(jìn)步。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測、先進(jìn)的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多將會(huì)有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
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的MX63/MX63L顯微鏡具備有如下的特點(diǎn):

從不可見到可見:MIX觀察與采集

 

新MX63/MX63L顯微鏡是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品,由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中,MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。

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長壽命高強(qiáng)度白色LED照明:始終一致的色溫

 

MX63/MX63L顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源,兼顧低功耗和長壽命的優(yōu)點(diǎn),而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。

 

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功能性:適合所有晶園尺寸

 

MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于大晶圓直徑200mmMX63L可用于大晶圓直徑300mm。此外,新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī),實(shí)現(xiàn)可靠、安全、的對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行檢測。

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模塊化:全面可定制

 

MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)讓檢測者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計(jì),并符合SEMI S2/S8、CEUL要求。所有電動(dòng)組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi),鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過防靜電處理。

 

人性化:滿足人體工學(xué)的設(shè)計(jì)

 

MX63/MX63L顯微鏡采用人體工學(xué)設(shè)計(jì),可以快速設(shè)置調(diào)整和簡易控制。更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置,因此用戶在使用過程中可始終保持透過目鏡觀察而無須松開對(duì)焦旋鈕。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)迅速,在縮短檢測間隔時(shí)間的同時(shí)還可讓操作者的手始終在晶圓下方,降低可能存在的污染風(fēng)險(xiǎn)。

 

憑借這些的觀察功能和簡單的操作特性,MX63/MX63L顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)快速的實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品檢測。

 

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